發(fā)布時間：2024-01-29 閱讀量：2770
奧松電子在MEMS智能傳感器領域深耕20余年，持續(xù)為客戶提供品質優(yōu)良的傳感器產(chǎn)品，并不斷進行技術創(chuàng)新，采用自主研發(fā)的MEMS質量流量芯片，開發(fā)了一系列氣體質量流量控制器產(chǎn)品。這些MFC產(chǎn)品對于半導體、光伏、高端裝備制造、醫(yī)療設備、工業(yè)自動化等工藝精密和環(huán)境敏感的領域來說，產(chǎn)品自身的靈敏度、精確度及優(yōu)良的性能起著至關重要的作用。
AS200氣體質量流量控制器
流量范圍覆蓋多個量程，從100SCCM到300SLM（可定制），能適應多種場景需求
可同時支持數(shù)字信號，1～5V或4～20mA模擬信號，方便客戶選擇
使用雙電源（±15 VDC）或單電源（+15～+28 VDC）
支持自動故障報警，多氣體多量程
精度高達±1%
免費提供上位機軟件
1×10-10 Pa·m3 / sec H的低泄露率，氣密性好，保障生產(chǎn)安全
AMC2000氣體流量控制器
量程從100SCCM到5SLM，可定制
重復性好，穩(wěn)定可靠
支持多種氣體監(jiān)測測量控制
標準Modbus-RTU通信
質量流量與溫度集成測量監(jiān)測控制
更換了底座結構，優(yōu)化了流道設計，使流量更加穩(wěn)定
搭載了LED數(shù)碼管進行讀數(shù)顯示，并對控制狀態(tài)一目了然。
加載了按鍵操作，設置相關參數(shù)，簡單便捷。
選購指南
適用場景不同
AS200適用于多種常規(guī)氣體、混合氣體及腐蝕性氣體，量程規(guī)格很多，精度高，可以用于對氣體質量流量的精密控制和測量，非常適用于半導體集成電路工藝、特種材料、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領域。其典型的應用場合包括：集成電路工藝設備，如外延、擴散、等離子刻蝕、濺射、離子注入和各種CVD等設備；其他行業(yè)設備，如光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、氣體取樣裝置、毛細管測量儀、氣相色譜儀及其它分析儀器等。
AMC2000是針對微小氣體流量的測量與控制，可廣泛應用于高?？蒲?、消防、環(huán)境監(jiān)測、煙草、智慧農(nóng)業(yè)、食品、醫(yī)藥等行業(yè)的質量流量控制監(jiān)測。
客戶可根據(jù)自己應用的實際場景選擇合適的量程范圍和精度的產(chǎn)品。如果您還不是很清楚該如何選型，歡迎掃描以下二維碼進行咨詢。
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